Sputtering Machine for SEM

Cập nhật: 28/12/2021 | 2:00:19 PM

Ứng dụng thiết bị phủ mẫu cho SEM, TEM và FIB.

Ứng dụng máy phủ mẫu MSP-1S cho SEM, TEM và FIB:

Thường mẫu được đưa vào kiểm tra máy SEM, TEM và FIB thường phân làm 2 loại cơ bản như sau:

+ Mẫu có độ dẫn điện tốt.

+ Mẫu có độ dẫn điện kém hoặc thấp.

Với mẫu có độ dẫn điện tốt thì việc đưa mẫu vào kính hiển vi điện tử SEM, TEM, FIB để quan sát hay phân tích thì khá đơn giản và dễ. Do mẫu có tính diện điện cao nên việc giải phóng điện tử e- từ đầu phát điện tử máy SEM xuống mẫu khá nhanh, điện tử này được phóng xuống đất rât nhanh do mẫu có tính dẫn điện tốt. Do vậy mẫu không có hiện tượng lóa hay méo ảnh (charge up) và có thể quan sát rõ nét bề mặt mẫu với độ phóng đại (phân giải) cao ở điện áp thấp hoặc điện áp cao tùy vào ứng dụng quan sát bề mặt hay quan sát sâu hơn đặc tính bển trong mẫu.

Còn với mẫu không dẫn điện, sẽ có khả năng giải phóng chùm điện tử từ đầu phát SEM hay TEM xuống mẫu chậm hoặc không giải phóng kịp do vậy trên bề mặt mẫu vẫn còn dư lượng điện tử e- nhất định, Lượng e- dự này càng nhiều thì ảnh điện tử SEM càng kém (sáng lóa). Do chùm điện tử e- từ đầu phát phóng xuống mẫu bị đẩy bới điện tử e- còn dự trên bề mặt mẫu từ lần phóng trước đó. Nên độ rọi của chùm tia bị đẩy (bẻ cong) làm cho ảnh có hiện tượng trôi hoặc sáng dẫn lên cho tới khi không quan sát được.

 

--> Với trường hơp mẫu không dẫn điện này có thể chụp ở chế độ chân không thấp nếu mẫu có độ dẫn điện kém hoặc giảm điện áp xuông thấp nhất có thể. Nhưng cũng có hạn chế là ảnh không được rõ nét hoặc không zoom lên độ phóng đại cao được. Do vậy cần sử dụng máy phủ mẫu với vật liệu phủ có thể là Pt, Pt/Pd hay Au..... Thiết bị phủ mẫu MSP-1S là dòng thiết bị phủ mẫu compact nhỏ gọn giá thành siêu rẻ có tác dụng tạo một lớp màng dẫn điện mỏng trên bề mặt mẫu giúp tăng khả năng phóng điện tử trên bề mặt mẫu xuống đất do vậy cho hình ảnh rõ nét hơn hoặc cho độ phóng đại cao hơn, khác phục hiện tượng trôi ảnh...

 

Đăng ký nhận tin
© 2018 - Bản quyền thuộc về Công ty TNHH Thiết bị và Công nghệ MTI